臺(tái)式電鏡能譜一體機(jī)的工作模式是什么樣的？下面給大家講解一下。首先是電子槍發(fā)射的電子束在加速電壓（通常為200V~30kV）的作用下，穿過由兩個(gè)或三個(gè)電磁透鏡組成的電子光學(xué)系統(tǒng)，會(huì)聚成納米級(jí)的束斑聚焦在樣品表面上。與顯示掃描同步的電子光學(xué)管中的掃描線圈控制電子束，并在樣品表面的特定小區(qū)域中逐點(diǎn)逐行掃描。由于高能電子束與樣品的相互作用，樣品會(huì)發(fā)出各種信號(hào)（例如二次電子，反向散射電子，X射線，俄歇電子，陰極發(fā)光，吸收電子等）。
臺(tái)式電鏡能譜一體機(jī)的信號(hào)由相應(yīng)的檢測器接收，并在經(jīng)過放大器和調(diào)制解調(diào)器處理后，在顯示器的相應(yīng)位置顯示不同的亮度，以形成反映樣品二維外觀的圖像或其他圖像符合我們?nèi)祟惖挠^察習(xí)慣?？梢岳斫獾膶Ρ葯C(jī)制圖像。
臺(tái)式電鏡能譜一體機(jī)的圖像顯示器像素尺寸大于電子束光斑尺寸（0.1毫米/1納米=100，000倍），并且顯示器的像素尺寸小于或等于人類的常規(guī)分辨率從而使顯示屏上的圖像等效于樣品上相應(yīng)的微小區(qū)域。通過調(diào)節(jié)掃描線圈的偏轉(zhuǎn)磁場，可以控制樣品表面電子束掃描區(qū)域的大小。從理論上講，掃描區(qū)域可以無限小，但是可以顯示的圖像的有效放大倍率取決于掃描電子顯微鏡的分辨率。早期的模擬圖像輸出使用高分辨率的攝像管，該攝像頭通過單鏡頭反光照相機(jī)逐點(diǎn)直接記錄在膠片上，然后對照片進(jìn)行處理。但是，隨著電子技術(shù)和計(jì)算機(jī)技術(shù)的發(fā)展，掃描電子顯微鏡的成像現(xiàn)已*實(shí)現(xiàn)為數(shù)字圖像。
當(dāng)電子槍產(chǎn)生的高能電子束轟擊樣品表面時(shí)，入射電子以及樣品的原子核和核外電子會(huì)產(chǎn)生彈性和非彈性散射。彈性散射是碰撞系統(tǒng)中電子能量和動(dòng)量守恒的散射。這是一個(gè)散射過程，其中入射電子與樣品中的原子相互作用，并且僅在能量基本不變的情況下才改變其軌跡。軌道變化角從0°到180°不等，平均變化角約為0。1弧度。非彈性散射是其中碰撞系統(tǒng)中電子的能量或動(dòng)量不守恒的散射。它是入射電子與樣品原子相互作用后能量損失的散射。電子動(dòng)量的損失是由多種機(jī)制（二次電子的產(chǎn)生，柔韌性）引起的。輻射，內(nèi)殼電離，等離子體和光子激發(fā)）。對于非彈性散射，電子軌道變化角通常小于0。01弧度。通常，固體樣品中入射電子的彈性和非彈性散射過程必須重復(fù)多次，并且散射范圍逐漸擴(kuò)大。
在此過程中，高能電子束激發(fā)各種反映樣品的形態(tài)，結(jié)構(gòu)和組成的信號(hào)，例如二次電子（SE），背向散射電子（BSE），透射電子（TE），俄歇電子，特征X射線，連續(xù)X射線（bre致輻射），陰極發(fā)光（CL），吸收電子（AE），電子束感應(yīng)電流等。其中，二次電子，反向散射電子，俄歇電子和透射電子是電子信號(hào)，特征X射線，連續(xù)X射線和陰極發(fā)光是電磁波信號(hào)，吸收的電子和電子束感應(yīng)電流是電流信號(hào)。我們稱各種信號(hào)與原始電子束信號(hào)之間的比率為某個(gè)信號(hào)的產(chǎn)量。
