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飛納電鏡為客戶配備了二次電子成像模式，使得對樣品立體外觀形貌的觀察又上了一個臺階。飛納電鏡擁有了兩只觀測樣品的“眼睛”——背散射探測器（BSD）和二次電子探測器（SED），不管您有什么觀測需求，這兩只“眼睛”都可以滿足您絕大部分的要求。

二次電子模式

飛納臺式掃描電鏡內(nèi)部可配備二次電子探頭，收集從樣品中被轟擊出的二次電子。這些二次電子主要來源于距樣品 1~10nm 的表面，由于入射深度小，入射電子的作用區(qū)域與入射束的束斑尺寸差別不大，所以相同條件下，二次電子的分辨率是優(yōu)于背散射圖像的。而且，由于二次電子對樣品傾斜角度更敏感，二次電子圖像可以呈現(xiàn)更好的立體形貌，如下圖所示。

可以看到錫球在二次電子成像下，周圍一圈是發(fā)亮的。這是由于二次電子是低能量的電子，它們的產(chǎn)生范圍很淺， 所以樣品上任意的傾斜、凹坑、凸起等幾何形貌都會影響二次電子的產(chǎn)生數(shù)量，從而出現(xiàn)立體感較強(qiáng)的明暗成像。

背散射電子模式

背散射電子模式作為傳統(tǒng)的成像方式，雖然立體成像上不如二次電子，但也有它*的優(yōu)點(diǎn)。背散射探頭一般分為四部分，各自采集受到樣品原子核反射回來的背散射電子。背散射電子是入射電子經(jīng)樣品中原子核的散射產(chǎn)生的，其產(chǎn)額與樣品的原子序數(shù)呈單調(diào)遞增關(guān)系，因此，背散射像能反映觀察區(qū)域輕、重元素的分布。如下圖所示。

圖片中錫球上的黑色物質(zhì)是碳一類的污染物，可以看到背散射圖像用亮暗對比，清晰地區(qū)分出了錫球上的污染物，而二次電子模式就無法做到這一點(diǎn)。

在一定的加速電壓下，背散射電子的產(chǎn)生量隨著樣品原子序數(shù)的增高而增加，其增加量比二次電子要敏感許多，如下圖所示。所以，背散射電子不僅可以用于形貌分析，還可以用于顯示樣品化學(xué)組分的組成特征，在一定范圍內(nèi)對試樣表面粗略地進(jìn)行化學(xué)成分分布情況分析。

根據(jù)自身的需要，選擇合適的“眼睛”，會讓我們的樣品形貌更直觀。飛納臺式掃描電鏡可以提供背散射電子模式和二次電子模式的混合像，通過設(shè)置混合比例，將兩者的優(yōu)勢同時發(fā)揮出來。